Spatial atomic layer deposition

Als enige bedrijf ter wereld beschikt het in Brainport Eindhoven gevestigde SALD over de expertise om de spatial Atomic Layer Deposition (SALD) technologie snel en betrouwbaar naar hoog volume productie op te schalen.

De laagjes van SALD kunnen de batterijen van nu en de eerstvolgende generatie met procenten verbeteren. En ook de Solid State Accu van de toekomst kan niet zonder de technologie van SALD.

SALD is een nieuwe benadering van atomaire laagafzetting (ALD). Deze alternatieve aanpak is gebaseerd op het scheiden van de precursoren in de ruimte in plaats van in de tijd, en wordt daarom Spatial ALD (SALD) genoemd. Met SALD zijn de zuiveringsstappen die typisch zijn voor ALD niet nodig en kunnen dus depositiesnelheden worden bereikt die honderd maal sneller zijn. Bovendien kan SALD gemakkelijk worden uitgevoerd bij omgevingsatmosfeer en is het dus gemakkelijker en goedkoper op te schalen dan conventionele ALD.

Dit opent de deur naar grootschalige industriële toepassing van ALD voor de depositie van energiematerialen voor toepassingen zoals zonne-energie, energieopslag of slimme vensters.